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產(chǎn)品功能

壞品記錄與管控：自動記錄前面工序中生產(chǎn)的損壞品在基板中的位置，控制機臺跳過特定的作業(yè)位置。

基板歷史追溯：基板作業(yè)歷史追溯，記錄每個站點的基板作業(yè)信息，基板作業(yè)前后Die的變化。

機臺參數(shù)比對：基板作業(yè)前，比對機臺作業(yè)參數(shù)，確?；遄鳂I(yè)時機臺參數(shù)的正確性，提高產(chǎn)品質(zhì)量，節(jié)約成本。

MES聯(lián)動確認(rèn)：與MES聯(lián)動，在基板作業(yè)前確認(rèn)基板的批次信息，確認(rèn)機臺作業(yè)工站和機臺，防止跳工序作業(yè)。

數(shù)量卡控：實時統(tǒng)計基板上好品數(shù)量，管控生產(chǎn)。

產(chǎn)品特點

精細(xì)管理：對作業(yè)基板管理，管理基板中每顆芯片作業(yè)的好壞，支持人為編輯，防止設(shè)備誤差導(dǎo)致的壞品流出，管控不良產(chǎn)品。

自動管控：對作業(yè)數(shù)量的管控，實現(xiàn)在MES系統(tǒng)中自動進(jìn)行TrackIn和TrackOut操作，節(jié)省人員作業(yè)時間。

單品追溯：對Strip和Wafer之間單顆產(chǎn)品的追溯。

產(chǎn)品效益

提高產(chǎn)品質(zhì)量

節(jié)約成本

合理高效管控生產(chǎn)