主要用途及適用范圍
主要用途:
1.用于存放光罩盒,并實時監(jiān)控光罩盒狀態(tài)
2.實時顯示光罩盒關聯(lián)wafer Lot信息
適用范圍:適用于半導體晶圓廠實時追蹤光罩盒狀態(tài)
工作原理
光罩盒放入貨位后,觸發(fā)行程開關。芯享二號板檢測到開關觸發(fā)后,發(fā)送指令給建永模塊,啟動天線模組讀取光罩盒上的卡片式標簽。讀取到的標簽信息返回給芯享二號板,再次轉發(fā)到光罩盒管理系統(tǒng)。光罩盒管理系統(tǒng)可查詢每個貨位信息,進行光罩盒出庫操作。