主要用途及適用范圍
主要用途:用于存放研磨頭,實時監(jiān)控研磨頭的狀態(tài)
適用范圍:適用于半導(dǎo)體晶圓廠實時追蹤研磨頭狀態(tài)
產(chǎn)品特點
本產(chǎn)品為研磨頭立庫,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),旨在精準定位研磨頭,實時顯示 研磨頭信息;解決產(chǎn)線人工查找研磨頭費時費力且不準確的問題,為生產(chǎn)管理者提供研磨頭的實時狀態(tài),提高研磨頭的使用周轉(zhuǎn)率,同時向上擴大存儲空間,減少研磨頭存放的占地面積。
原產(chǎn)品手冊有圖
工作原理
將裝有研磨頭的托盤放入進料口,搬運機構(gòu)將其運輸?shù)街付ㄎ恢?,同時將信息 顯示在工控屏幕上。
規(guī)格型號
產(chǎn)品系列 |
方艙 |
產(chǎn)品名稱 |
方艙1號 |
型號 |
XX-L1-RFeStocker |
軟件版本 |
V1.1 |
硬件版本 |
V1.1 |
系統(tǒng)兼容 |
兼容EAP、MES、PMS等第三方系統(tǒng) |